第155章 华科的第一炉 (第1/3页)

    北方。华科精密设备有限公司。

    一号装配车间。

    巨大的穹顶下，那台被拆解又重新组装的碳化硅外延炉，像一头沉睡的钢铁巨兽，静静地趴在车间中央。

    这是改造后的第一次热场空载测试。

    没有放入碳化硅粉料，也没有放入籽晶。只是单纯地测试设备在两千度高温下的温度场分布是否均匀。

    这是碳化硅长晶最核心、也是最难的一关。

    陶安然穿着灰色的工装，头发随意地扎在脑后。

    这半个多月来，她和华科的技术团队吃住在车间里。从石墨毡的切割、保温层的阶梯化铺设，到感应线圈的重新绕制，每一个细节她都亲自盯着。

    华科的老厂长赵建兴，背着手站在陶安然旁边。他今天没穿那身洗得发白的蓝色工装，而是换了一件干净的灰色夹克。

    “陶工。”赵建兴看着那台外延炉，声音有些发紧，“这炉子，能行吗？”

    陶安然没有看他。她的目光死死盯着控制台上的温度显示屏。

    “赵厂长。参数是死的，设备是活的。”陶安然的声音沙哑，“行不行，烧了才知道。”

    “抽真空。通氩气。准备升温。”

    真空泵发出低沉的轰鸣声。炉腔内的空气被迅速抽干。

    “真空度达标。氩气流量稳定。”陈宇汇报道。

    “开始升温。第一阶段，目标温度1000度，升温速率每分钟10度。”陶安然下达指令。

    感应加热线圈开始工作。

    外延炉的表面温度逐渐升高。车间里的空气变得有些灼热。

    赵建兴紧紧盯着屏幕上的温度曲线。

    1000度。很顺利地达到了。

    “第二阶段。目标温度2000度。升温速率每分钟5度。”陶安然的声音没有一丝波动。

    这是最关键的阶段。

    在两千度的高温下，热辐射会变得极其复杂。任何一点保温层的微小缺陷，都会导致炉腔内出现巨大的温度梯度。

    温度一点点攀升。

    1500度。

    1800度。

    1950度。

    赵建兴屏住了呼吸。他的手心里全是汗。

    “2000度！到达目标温度！”三个多小时后，助手喊道。

    “保温两小时。启动多点温度传感器，监测径向和轴向温度梯度。”陶安然命令道。

    屏幕上，十几条代表不同位置温度的彩色曲线，开始在坐标轴上延伸。

    时间一分一秒地过去。

    车间里安静得可怕。只有外延炉冷却水循环的哗哗声。

    “保温结束。开始降温。”陶安然说。

    又过了几个小时，炉体温度终于降到了安全范围。

    “导出测试数据。生成温度场分布云图。”陶安然走到控制台前。

    一张彩色的温度场分布云图，出现在屏幕上。

    赵建兴凑了过去。

    他死死盯着那张云图。

    在碳化硅晶体生长的核心区域，颜色呈现出极其均匀的暖红色。没有刺眼的亮斑（局部过热），

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